图文
EUV光刻厂
光刻机 晶体管 工作台
2024年度科普中国资源荟萃集成示范项目 2025-02-19
北大刘开辉团队攻克光学晶体制备难题：菱方氮化硼晶体能效提升100至1万倍
光刻机 芯片 激光
科技启示录 2024-11-14
本科普文按照各个工位来介绍芯片制造的核心制程—光刻制程，并展现光刻机的工作原理及方式。
光刻机 芯片 半导体
中国微米纳米技术学会 2022-12-12
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