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一分钟了解：平面度

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平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。平面度属于形位误差中的形状误差。平面度误差测量的常用方法有如下几种：平晶干涉法、打表测量法、液平面法等。平面度误差的评定方法有：三远点法、对角线法、最小二乘法和最小区域法等四种。

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