视频
版权归原作者所有,如有侵权,请联系我们
微机电系统,也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。微机电系统主要由传感器、动作器和微能源三大部分组成。21世纪微机电系统将逐步从实验室走向实用化,对工农业、信息、环境、生物工程、医疗、空间技术、国防和科学发展产生重大影响。