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微机电系统，也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。微机电系统主要由传感器、动作器和微能源三大部分组成。21世纪微机电系统将逐步从实验室走向实用化，对工农业、信息、环境、生物工程、医疗、空间技术、国防和科学发展产生重大影响。
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