压升率是指整个真空室体不抽真空时单位时间内压强升高的差值,可以定义为:
其中,M为压升率,Δp为Δt时间内压强的增加值。该物理量是反映真空系统性能的重要指标,压升率过高,意味着有大量的杂质气体进入系统。
压升率概述压升率是反映真空设备保持真空的能力。它的测量方法是:在真空系统中,达到一定真空的状态下,停掉所有抽真空设备,在干净、冷态、空载的状态下在t1和t2的两个时间点测得真空度为P1和P2的两个值,压升率=P2-P1/t2-t1,P的单位为Pa,t的单位为小时,所以压升率的单位为Pa/h。
我国的标准是1.33Pa/h,国外多是0.67Pa/h。
影响真空系统压升率的因影响真空系统压升率的因素大致可以分为两类1 ,
一类是外界气体由于各种原因而进入真空系统 ,
另一 类是真空系统内部各种结构材料表面的出气。
压升率可以表示为:
M0表示外界气体的影响 ,Mi 代表真空系统内部不同材料表面出气造成压升率的增加 。
本词条内容贡献者为:
王宁 - 副教授 - 西南大学压升率
图文简介
压升率是指整个真空室体不抽真空时单位时间内压强升高的差值,可以定义为:其中,M为压升率,Δp为Δt时间内压强的增加值。该物理量是反映真空系统性能的重要指标,压升率过高,意味着有大量的杂质气体进入系统。
- 来源: 科普中国科学百科
- 上传时间:2018-06-24
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