压升率是指整个真空室体不抽真空时单位时间内压强升高的差值,可以定义为:

其中,M为压升率,Δp为Δt时间内压强的增加值。该物理量是反映真空系统性能的重要指标,压升率过高,意味着有大量的杂质气体进入系统。

压升率概述

压升率是反映真空设备保持真空的能力。它的测量方法是:在真空系统中,达到一定真空的状态下,停掉所有抽真空设备,在干净、冷态、空载的状态下在t1和t2的两个时间点测得真空度为P1和P2的两个值,压升率=P2-P1/t2-t1,P的单位为Pa,t的单位为小时,所以压升率的单位为Pa/h。

我国的标准是1.33Pa/h,国外多是0.67Pa/h。

影响真空系统压升率的因

影响真空系统压升率的因素大致可以分为两类1 ,

一类是外界气体由于各种原因而进入真空系统 ,

另一 类是真空系统内部各种结构材料表面的出气。

压升率可以表示为:

M0表示外界气体的影响 ,Mi 代表真空系统内部不同材料表面出气造成压升率的增加 。

本词条内容贡献者为:

王宁 - 副教授 - 西南大学

压升率

图文简介

压升率是指整个真空室体不抽真空时单位时间内压强升高的差值,可以定义为:其中,M为压升率,Δp为Δt时间内压强的增加值。该物理量是反映真空系统性能的重要指标,压升率过高,意味着有大量的杂质气体进入系统。