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为了在指甲盖大小的芯片上集成数百亿晶体管,人类需要一种名为EUV光刻机的终极工具。它利用波长仅为纳米级的极紫外光,在硅片上进行原子级的“微雕”。
极紫外光 光刻机 芯片
张天缘的科普号 2025-11-29
光刻机被誉为工业皇冠上的明珠,它集合了人类最顶尖的光学、材料学和精密控制技术。制造它究竟难在哪里?这是一场在原子尺度上进行的极限挑战。
极紫外光 光刻机 反射镜系...
张天缘的科普号 2025-12-14
什么是极紫外光?它是一种波长很短、能量很高的特殊光线
极紫外光
中国科普博览 2025-11-04
极紫外光:一把“精密手术刀”