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光刻机被誉为工业皇冠上的明珠,它集合了人类最顶尖的光学、材料学和精密控制技术。制造它究竟难在哪里?这是一场在原子尺度上进行的极限挑战。
反射镜系... 光刻机 极紫外光
张天缘的科普号 2025-12-14