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视频简介: 芯片,相当于人的心脏,心脏不强,体量再大也不算强;而减振器是光刻机的“基石”,基础不牢则地动山摇。陈院士甘坐冷板凳,肯下苦功夫,瞄准世界一流,实现IC光刻机减振的关键核心技术自主可控,把这个技术的创新主动权、发展主动权牢牢掌握在我们自己手中。
来源:武汉教育电视台