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      《大话集成电路23》芯片光刻:精度最高的加工技术,究竟难在哪?

      视频简介 原创

      光刻技术,作为集成电路最具有代表性的制作工艺之一,它代表着人类迄今为止精度最高的加工技术。那么这项技术究竟难在哪儿,壁垒又有多高呢?