导引

太赫兹近场显微成像成谱技术由于其分辨率可以达到nm级别，同时还能具有频谱信息，因此在生物细胞探测、半导体微纳结构检测等领域具有广泛应用价值。

那么，太赫兹近场显微成像成谱系统如何搭建？有哪些核心关键技术？在半导体领域有哪些重大应用？

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来源: 中国光学学会